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用纯水标准

日期：2010-07-20浏览：4616次

超纯水标准

中用水标准GB6682-2008

名称	一级	二级	三级
PH值范围（25℃）	-	-	5.0-7.5
电导率（25℃）,mS/m ≤	0.01	0.10	0.50
比电阻（MΩ.cm.25℃）≥	10	1	0.2
可氧化物质[以（0）计]，mg/L	-	0.08	0.40
< 吸光度（254nm,1cm 光程）≤	0.001	0.01	-
蒸发残渣（105±2℃），mg/L≤	-	1.0	2.0
可容性硅[以（sio2）计]，mg/L<	0.01	0.02	-

中电子超纯水标准GB/T1146.1-1997

指标	EW-I	EW-II
电阻率MΩ.cm（25℃）	18以上（95%时间）不低于17	15（95%时间）不低于13
硅≤?g/l	2	10
>1?M微粒数≤个/ml	0.1	5
细菌个数≤个/ml	0.01	0.1
铜≤?g/l	0.2	1
锌≤?g/l	0.2	1
镍≤?g/l	0.1	1
钠≤?g/l	0.5	2
钾≤?g/l	0.5	2
氯≤?g/l	1	1
硝酸根≤?g/l	1	1
磷酸根≤?g/l	1	1
硫酸根≤?g/l	1	1
总有机碳≤?g/l	20	100

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